【儀表網(wǎng) 儀表產(chǎn)業(yè)】在智能傳感器領(lǐng)域，業(yè)界有這么一種說法：造智能傳感器，必須有產(chǎn)業(yè)園。這是為什么呢？原因在于，和其他大多數(shù)產(chǎn)業(yè)不同，智能傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的企業(yè)，鮮有靠單打獨斗成功的。一個企業(yè)，往往只能專精于上述環(huán)節(jié)中的一環(huán)。可以說，甚至是“產(chǎn)業(yè)城”。
 

資料圖
 

　　另外，智能傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈，對“產(chǎn)學研用”的銜接度要求很高。有些技術(shù)在實驗室里非常先進，但找不到商業(yè)應用場景，只能長期留在實驗室；有些公司設(shè)計產(chǎn)品的電路圖很有價值，但自己沒有大型設(shè)備，就做不出相應的芯片。
 

　　那么，制作一顆米粒般大小的智能傳感器芯片，大致需要哪些工序呢？
 

　　首先，要提煉制作出硅棒，然后將之“切”成一張張形如CD的數(shù)毫米厚的晶圓裸片，然后經(jīng)過多道名為“流片”的工序，通過光刻、薄膜刻蝕、清洗等幾十甚至上百道步驟，把已設(shè)計好的電路“畫”上去，然后再把這張晶圓片按芯片的不同規(guī)格切片后鍍膜，進行封裝測試，測試合格即可使用。
 

落地嘉定的國家智能傳感器創(chuàng)新中心，資料圖
 

　　上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園建設(shè)
 

　　去年10月份，上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園揭牌成立，總投資額近250億元。上海集成電路產(chǎn)業(yè)“一體兩翼”布局的重要組成部分、其中，“一體”是張江，“兩翼”分別是臨港和嘉定，而其中嘉定的條件便得天獨厚。比如，在上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園里，做晶圓片的，有新傲科技，兩年多前國內(nèi)首條8英寸超越摩爾和先進傳感器研發(fā)中試線即誕生于那里；做應用端的企業(yè)，有矽杰微電子等。
 

　　目前，嘉定重點發(fā)展以傳感器為核心的集成電路及物聯(lián)網(wǎng)芯片產(chǎn)業(yè)。在這里，一條“院所創(chuàng)新驅(qū)動、企業(yè)研發(fā)生產(chǎn)、應用端做好測試”的智能傳感器產(chǎn)業(yè)閉環(huán)已孕育而成。可以說，目前，上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園的集聚和輻射作用已初顯端倪。
 

圖為第三代半導體材料氮化鎵。資料圖
 

　　廣東啟動智能傳感器產(chǎn)業(yè)園
 

　　而在前不久，9月17日至18日，在第23屆中國集成電路制造年會上，廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園也正式啟動。

　　同時，黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)出臺粵港澳大灣區(qū)區(qū)縣級智能傳感器產(chǎn)業(yè)專項政策——《廣州市黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)、廣州高新區(qū)促進智能傳感器產(chǎn)業(yè)化發(fā)展若干措施》(簡稱“智能傳感器20條”)，在技術(shù)、應用、產(chǎn)業(yè)、平臺、人才等方面加大對智能傳感器傾斜支持力度。比如，對產(chǎn)值1億元以上且同比增長10%以上的智能傳感器制造型企業(yè)，將給予高5000萬元的獎勵。可以說，政策獎勵十分優(yōu)越。