100噸連續真空熱壓燒結爐

                                              KZTY-50-16

一、產品簡介

本設備主要用于半導體帶材的連續釬焊熱處理燒結使用。

二、產品特點

1、結構新穎、外形美觀:本設備爐體采用全不銹鋼啞光處理，一體化設計，結構合理，外形美觀。設備水電集成化，可直接和用戶準備好電源進線和冷卻水即插即用。

2、采用立式正面側部開門，操作簡單方便。

3、抽真空機組一體化設計外形簡潔美觀。

4、用途廣泛，即可在真空下燒結處理，也可在真空氣氛下燒結處理，還可以熱壓燒結或熱壓氣氛燒結，一機多用。

三、功能參數：

1、 電源：三相380V 50Hz；

2、 加熱功率：≤50Kw根據實際設計調整

3、 設備真空度能力：腔室采用304材質雙層水冷高真空設計，腔室自身極限真空可達10^-3pa以下（真空系統客戶自備） ，高真空設計預留進出真空接管法蘭

4、 加熱方式：石墨加熱

5、 設計溫度：1600℃，工作溫度：≤1500℃

6、 工作區尺寸：300mm×300mm*100mm（長寬高）

7、 加壓臺面：200mm*200mm  腔體內部壓力件采用等靜壓石墨材料

8、 工作區：一區

9、 控溫方式：熱電偶

10、 控溫精度：±1℃

11、 設備設計保溫隔熱屏，在隔熱區外，是水冷真空腔室，設置有水冷循環系統；

12、 能夠壓合寬100mm*厚5mm成卷連續銅帶材；

13、 工作氣氛：N₂/Ar

14、 充氣壓力：≤0.03MPa

15、 壓機壓力：≤100T采用下頂式加壓，設備作業時，***壓力控制和壓合行程控制兩種控制方式可選

16、 壓頭行程：50-100mm

17、 設備內部加熱元件有短路保護功能，配置快速熔斷器等保護器件，可實現負載短路迅速切斷主加熱電源。

18、 液壓加壓系統設計過壓過載保護，并在觸摸屏顯示并記錄保存