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公司介紹主營產品

北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業北京中科科儀股份有限公司的控股子公司，是專門從事真空系統集成產品設計、制造、銷售和服務的國家企業，為客戶提供真空系統整體解決方案和一站式服務，包括真空集成系統的總體設計、工程實施、設備安裝、技術服務等。公司主營業務分為空間環境模擬裝置、充氣回收檢漏系統、新能源真空應用系統和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業涉及航空航天、新能源（太陽能和核能）、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領域。公司擁有*的裝備制造實力，通過了ISO質量管理體系和中核供應商體系認證，擁有3項發明及三十余項實用新型，曾參與：神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施，在真空領域具有國內的技術實力。中科科美致力于發展成為國內、具有國際競爭力的真空系統集成整體解決方案供應商，實現與客戶的共同成長！

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產品簡介在線詢價

該設備用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜，亦可鍍鐵磁材料。圖示鍍膜機為雙腔室，共用高真空系統；為避免交叉污染，一個腔室可實現電子槍/電阻蒸發鍍膜，另一腔室可實現濺射鍍膜。

雙腔室多功能磁控濺射鍍膜機產品詳情

　　一、應用領域

　　該設備用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜，亦可鍍鐵磁材料。圖示鍍膜機為雙腔室，共用高真空系統;為避免交叉污染，一個腔室可實現電子槍/電阻蒸發鍍膜，另一腔室可實現濺射鍍膜。

　　二、性能參數

　　1. 極限真空壓力:5×10^-5Pa;

　　2. 磁控靶：直徑Φ50 數量：2-4只;

　　3. 靶單位面積功率:(W/cm2)5～20;

　　4. 靶電源功率(W):DC500W，RF500W;

　　5. 基片加熱溫度:0～500℃可控;

　　6. 工藝氣體：MFC 1-3路;

　　7. 樣品架：公轉 2-20rpm可調;

　　8. 電子槍：1套 6-10KW 電(氣)動擋板;

　　9. 蒸發電源：數量：1-2組功率：2KW 電壓：0-35V;

　　10. 其它配置：偏壓、膜厚儀、薄膜規、磁控靶電(氣)動擋板可選;

關鍵詞：鍍膜機

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