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熱蒸發、磁控濺射鍍膜機

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  • 型號
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  • 所在地北京市
  • 更新時間2025-01-10
  • 廠商性質其他
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  • 產品數量72
  • 人氣值850
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該設備在同一真空室內具有熱蒸發和磁控濺射鍍膜功能,用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積;可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜,亦可鍍鐵磁材料。
熱蒸發、磁控濺射鍍膜機 產品詳情

  一、應用領域

  該設備在同一真空室內具有熱蒸發和磁控濺射鍍膜功能,用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積;可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜,亦可鍍鐵磁材料。

  二、性能參數

  1. 極限真空壓力:8×10-5 Pa;

  2. 磁控靶:2只 靶直徑:Φ50,配電(氣)動擋板;

  3. 恢復真空抽氣時間(min):<30;

  4. 真空室:Φ500×550;

  5. 蒸發電極: 2對 2KW 配電(氣)動擋板;

  6. 樣品臺:公自轉,公轉:2-20rpm可調;

  7. 偏壓、膜厚儀、薄膜規、樣品臺加熱可選;

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