高真空分子泵≤10-3Pa，泵組搭配機械泵抽氣口和分子泵抽氣口，可根據需求使用，前級采用雙極四旋片真空泵，2.2L/S。分子泵采用150分子泵，空載極限壓強為1X10-4Pa
高真空分子泵≤10-3Pa技術參數：
控制方式 | 手動人機界面控制 |
前級泵接口 | KF25（客戶根據真空環境潔凈度要求自行安裝前級泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000轉/分 |
分子泵抽氣速率 | 140L/S |
分子泵啟動時間 | ≤2min |
空載極限壓強 | ≤1X10-4Pa |
真空測量方式 | 冷陰極標準規管 |
真空測量范圍 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空測量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數 重復性： ±5% |
抽氣接口 | KF25 |
閥門類型 | KF25手動擋板閥 |
系統電源 | AC220V |
系統功率 | ≤750W |
環境溫度 | 5~32℃ |
冷卻方式 | 強制風冷卻 |
濕度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （寬-深-高） |
重量 | 25KG |
隨機配件：KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個 | |
質譜分析表面分析電子顯微鏡3d打印無損探測科學研究
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應用領域
平板顯示薄膜電池Low-E玻璃ITO碳化硅加速器真空爐晶體晶振
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