關(guān)鍵詞:磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、金屬膜、氧化膜、約瑟夫森結(jié)、超導(dǎo)、量子器件、量子比特、
多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導(dǎo)、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超導(dǎo)鋁結(jié)、Josephson junction
型號(hào):MEB 550 SL 產(chǎn)地:歐洲 應(yīng)用:沉積幾乎任何金屬及氧化物薄膜。
推薦配置:可以用于沉積幾乎任何金屬及氧化物薄膜,目前主要超導(dǎo)量子實(shí)驗(yàn)室均使用該設(shè)備制備超導(dǎo)結(jié)(量子比特和約瑟夫森結(jié))和量子器件,可以制備大面積、高度穩(wěn)定性和可重復(fù)性超導(dǎo)結(jié)。
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