關鍵詞:多靶磁控濺射、共濺射、Co-sputter、金屬膜、氧化膜、半導體膜、非金屬膜、約瑟夫森結、
超導、量子器件、量子比特、 Qubit、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、
sputtering system、Josephson junction
產地:歐洲; 型號:MP700S; 應用:超導量子結制備、薄膜沉積。
磁控濺射鍍膜系統可以沉積各種金屬、半導體、非金屬薄膜,又特別適合用于超導量子結、約瑟夫森結等量子器件的制備,例如:超導Nb、NbN、NbTiN等,MP700S磁控濺射系統專門用于超導約瑟夫森結的制備,其特點如下:
使用該設備能夠制備高品質、重復性好的約瑟夫森結,因而深受超導量子器件研究小組的推崇。目前包括:格拉斯哥大學、法國波爾多大學、法國科學研究中心(CNRS)、法國原子能委員會(CEA)、加拿大滑鐵盧大學、清華大學等單位均在使用PLASSYS公司同類設備。
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