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空間中心等揭示碳納米管器件和電路單粒子效應(yīng)機(jī)理

儀表研發(fā) 2022年11月21日 08:57:56來源:國家空間科學(xué)中心 21018
摘要揭示碳基器件單粒子效應(yīng)機(jī)理和響應(yīng)特性,提高抗單粒子效應(yīng)輻射能力使之滿足航天工程技術(shù)發(fā)展需求就成為亟待解決的關(guān)鍵問題。

  【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】“十四五”和未來我國深空和太陽系邊界探測等航天任務(wù)實(shí)施對宇航用集成電路在惡劣復(fù)雜的深空輻射環(huán)境下的抗輻射能力提出了嚴(yán)苛要求,元器件的抗輻射能力成為制約深空探測任務(wù)設(shè)計的關(guān)鍵因素之一。碳基信息電子器件具有高遷移率、超薄、高熱導(dǎo)率等優(yōu)異的物理性能,是下一代先進(jìn)半導(dǎo)體器件典型代表,也是我國自主可控發(fā)展集成電路技術(shù)的重要選擇。
 
  國內(nèi)外已有研究報道,碳基器件天然具有較強(qiáng)的抗總劑量能力,可滿足深空探測任務(wù)對芯片壽命達(dá)到數(shù)年乃至數(shù)十年的需求,其有望成為支撐國家航天基礎(chǔ)設(shè)施抗空間輻射環(huán)境高水平應(yīng)用的核心物質(zhì)基礎(chǔ)。
 
  但是針對碳基器件空間應(yīng)用面臨的單粒子輻射問題目前尚未見公開報道,嚴(yán)重制約了碳基器件在空間輻射環(huán)境中的布局應(yīng)用。因此,揭示碳基器件單粒子效應(yīng)機(jī)理和響應(yīng)特性,提高抗單粒子效應(yīng)輻射能力使之滿足航天工程技術(shù)發(fā)展需求就成為亟待解決的關(guān)鍵問題。
 
  中國科學(xué)院國家空間科學(xué)中心太陽活動與空間天氣重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副研究員陳睿、研究員韓建偉團(tuán)隊與北京大學(xué)電子學(xué)院教授張志勇課題組、中科院微電子研究所研究員李博課題組合作,針對碳納米管晶體管和靜態(tài)隨機(jī)存儲器單元,利用空間中心自主建立的脈沖激光模擬重離子試驗(yàn)裝置、質(zhì)子與電子加速器和集成電路試驗(yàn)與仿真平臺,揭示了碳納米管場效應(yīng)晶體管和存儲單元單粒子效應(yīng)損傷機(jī)理和響應(yīng)特性。
 
  該研究發(fā)現(xiàn),碳納米管器件和電路柵區(qū)域?qū)瘟W有?yīng)敏感,且損傷機(jī)制與傳統(tǒng)體硅器件單粒子敏感體積收集輻射感生電荷不同,單粒子離化電子受電場作用向源極漂移形成溝道電流(約250ps脈寬的瞬態(tài)電流脈沖),空穴在柵介質(zhì)上累積導(dǎo)致柵電場強(qiáng)度增加是單粒子損傷的主要機(jī)制。
 
圖1 近地和深空輻射環(huán)境特征
 
圖2 碳納米管電子器件單粒子效應(yīng)機(jī)理
 
圖3 碳納米管電子器件單粒子效應(yīng)響應(yīng)特征

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