RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學(xué)機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
特點優(yōu)勢
測量范圍 2通道 ≥0.2µm, ≥0.5µm
最多粒子數(shù)量 1200顆/ml（誤差值低于5%）
技術(shù)參數(shù)
光源 鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:40mW)
部分材料 KL-28B:人造石英,PFA、PTEF
KS-16F:藍(lán)寶石,PFA、PTEF (可測氫氟酸)
流量 測試流量10ml/分鐘
測量范圍 2通道 ≥0.2µm, ≥0.5µm
最多粒子數(shù)量 1200顆/ml（誤差值低于5%）
電源 由KE-28B供應(yīng)，100V AC,23VA
尺寸.重量 70(H)×85(W)×118 (D) mm,大約:0.6kg
控制器 KE-28B（專用于KL-28B/KL-28BF）
應(yīng)用范圍
