RION/日本理音液體粒子計數器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
特點優勢
粒徑范圍(4通道) ≥0.04µm,≥0.08µm,≥0.1µm,≥0.15µm標配
可選通道 2-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.04~0.15µm
粒子數量 15000顆/ml，誤差值低于10%
技術參數
光源 激光二極管泵/固態晶振鐳射(波長:532nm,額定輸出:500mW)
與樣品接觸部分材料 人造石英,碳氟橡膠、氟塑膠、PMC
外部材質 SUS304/316、有機玻璃、POM
流量 20ml/分鐘，清洗流量0.1-1l/分鐘
粒徑范圍(4通道) ≥0.04µm,≥0.08µm,≥0.1µm,≥0.15µm標配
可選通道 2-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.04~0.15µm
粒子數量 15000顆/ml，誤差值低于10%
電源 100V-240V AC,50/60Hz 130VA
尺寸.重量 203×385×570mm（突出部分除外）大約24.8kg
應用范圍
