
Neocera Pioneer 系列 PLD 系統— 基于經驗的創新設計
Neocera 利用PLD 開展了深入廣泛的研究,建立了獲得薄膜質量的臨界參數,特別適用于沉積復雜氧化物薄膜。
這些思考已經應用于Pioneer 系統的設計之中。
? 很多復雜氧化物薄膜在相對高的氧壓 gt;100 Torr)下冷卻可獲得更高的質量。所有Pioneer 系統都具備此功能(壓力范圍可從額定初始壓強到大氣壓)。這也有益于納米粒子的生成。
? Pioneer PLD 系統的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時避免使用復雜而昂貴的光學部件。更大的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點,導致密度均勻性的損失。
? 為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵,消除油的回流對薄膜質量的影響,所有Pioneer 系統的標準配置都采用無油泵系統。
? 我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質量的關鍵參數。Pioneer 系統可以控制靶材和基片的距離,以達到的沉積條件。