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  • 脈沖激光沉積系統(tǒng) Pioneer 180 Laser MBE/PLD System

脈沖激光沉積系統(tǒng) Pioneer 180 Laser MBE/PLD System

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北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司成立于2001年,是一家經(jīng)營(yíng)歐美和日本等國(guó)*科學(xué)測(cè)試儀器和設(shè)備,并將*進(jìn)技術(shù)引入國(guó)內(nèi)的科技服務(wù)型企業(yè).經(jīng)過十年的發(fā)展,公司在北京、上海、廣州、武漢均設(shè)有辦事處。


    公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經(jīng)營(yíng)公司的業(yè)務(wù)(HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way)。 


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公司愿景:
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獨(dú)立的MAPLEPLD系統(tǒng)有機(jī)和聚合物薄膜的沉積在同一室的附加沉積源(可選):脈沖電子沉積(PED)
脈沖激光沉積系統(tǒng) Pioneer 180 Laser MBE/PLD System 產(chǎn)品詳情

獨(dú)立的MAPLE PLD系統(tǒng)

有機(jī)和聚合物薄膜的沉積

在同一室的附加沉積源(可選): 脈沖電子沉積(PED),射頻/直流濺射和直流離子源

Load-lockable襯底階段

與XPS分析系統(tǒng)集成,直接將晶片從PLD系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到分析系統(tǒng)

激光 MBE 是普遍采用的術(shù)語(yǔ),該法是一種納米尺度薄膜合成的理想方法,高真空下的 PLD 與在線工藝監(jiān)測(cè)的反射高能電 子衍射(RHEED)的聯(lián)合應(yīng)用,用戶提供了類似于 MBE 的薄膜生長(zhǎng)的單分子水平控制。 正確的設(shè)計(jì)是成功使用 RHEED 和 PLD 的重要因數(shù) RHEED 通常在高真空環(huán)境下使用。然而,因?yàn)樵谀承┨厥馇闆r下,PLD 采用較高的壓力,差動(dòng)抽氣是必要的,維持 RHEED 電子槍的工作壓力,同時(shí)保持 500 mTorr 的 PLD 工藝壓力。同時(shí),設(shè)計(jì)完整的系統(tǒng)消除磁場(chǎng)對(duì)電子束 的影響是至關(guān)重要的。Neocera 激光 MBE 系統(tǒng)可以添加客戶定制系統(tǒng),比如超高真空激光襯底加熱器,用于集成原位分 析系統(tǒng)(XPS/ARPERS 等)。樣品可以簡(jiǎn)單地從激光 MBE/PLD 系統(tǒng)傳送到超高真空 XPS/ARPERS 系統(tǒng)。

關(guān)鍵詞:加熱器
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