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gh-160 等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌 等離子清洗器

參考價
300000.00
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
規(guī)格
  • GH-160300000.00元100000 臺 可售
  • 型號gh-160
  • 品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2022-10-14
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)蘇州市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量73
  • 人氣值3500
產(chǎn)品標(biāo)簽

等離子清洗機

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等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌

等離子清洗機可以實現(xiàn)表面清洗、表面活化、表面刻蝕以及表面涂鍍的功能,根據(jù)所需處理的材料與目的不同,等離子清洗機可以實現(xiàn)不同的處理效果。等離子清洗機在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用有等離子刻蝕、顯影、去膠、封裝等。真空等離子清洗機的刻蝕工藝在半導(dǎo)體集成電路中,既可以刻蝕表層的光刻膠,也能夠刻蝕下層的氮化硅層,通過對真空等離子清洗機的部分參數(shù)調(diào)整,是能夠形成一定的氮化硅層形貌
等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌 等離子清洗器 產(chǎn)品詳情

等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌

等離子清洗機可以實現(xiàn)表面清洗、表面活化、表面刻蝕以及表面涂鍍的功能,根據(jù)所需處理的材料與目的不同,等離子清洗機可以實現(xiàn)不同的處理效果。等離子清洗機在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用有等離子刻蝕、顯影、去膠、封裝等。真空等離子清洗機的刻蝕工藝在半導(dǎo)體集成電路中,既可以刻蝕表層的光刻膠,也能夠刻蝕下層的氮化硅層,通過對真空等離子清洗機的部分參數(shù)調(diào)整,是能夠形成一定的氮化硅層形貌,即側(cè)壁蝕刻傾斜度。

1 氮化硅材料特點

氮化硅(Si3N4)是目前炙手可熱的新材料之一,具有密度小、硬度大、彈性模量高、熱穩(wěn)定性好等特點,在諸多領(lǐng)域都有應(yīng)用。在晶圓制造中,氮化硅可替代氧化硅使用,因其硬度高,可在晶圓表面形成非常薄的氮化硅薄膜(在硅片加工中,應(yīng)用為廣泛的描述薄膜厚度的單位是埃),厚度約在數(shù)十埃,保護表面,避免劃傷,此外其突出的絕緣強度和抗氧化能力也能夠很好地達到隔離的效果。氮化硅的不足在于,其流動性不如氧化物,難以刻蝕,采用等離子刻蝕可以克服刻蝕上的難點。

等離子清洗機可以改變氮化硅層的形貌

等離子體刻蝕原理和應(yīng)用

等離子刻蝕是通過化學(xué)作用或者物理作用,或者物理和化學(xué)共同作用來實現(xiàn)的。反應(yīng)腔室內(nèi)的氣體輝光放電,包括離子、電子及游離基等活性物質(zhì)的等離子體,通過擴散作用吸附到介質(zhì)表面,與介質(zhì)表面原子發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成揮發(fā)性物質(zhì)。同時高能離子在一定壓力下對介質(zhì)表面進行物理轟擊和刻蝕,去除再沉積的反應(yīng)產(chǎn)物和聚合物。通過化學(xué)和物理的共同作用來完成對介質(zhì)層的刻蝕。

關(guān)鍵詞:清洗機 彈性模量
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