沈陽威利德真空技術有限公司
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FCS系列氣體流量控制器是基于MCS51系列單片機配合外圍控制部件，通過對三路或四路氣體質量流量計的控制，實現鍍膜機充氣系統全自動運行。本機可由用戶編程設定，對反應氣體隨鍍膜時間變化進行增減量控制。同時本機支持RS485或RS232通訊控制，支持開關量外部控制，也可連接上位控制機實現遠程控制。
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