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產地	國產	加工定制	否
適用行業	其他

晶圓表面三維測量儀

1) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

2) 測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。

3) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。

4) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。

標準配置

1）主機

2）影像系統：1024×1024；

3）光學Zoom：1×；

4）XY位移載物臺：自動位移臺；

5）物鏡轉盤：3孔手動

5）品牌計算機；

6）校準模塊；

7）操縱手柄；

8） 3D表面輪廓儀軟件一套；

9）電氣控制柜；

10）儀器配件箱；

11）便攜加壓充氣裝置一套；

可選配置：

1）干涉物鏡：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

2）自動光學變倍目鏡： 0.5×、1×、2×

3）真空吸附臺(半導體晶圓片專用)：6寸、8寸、12寸

4）自動測量拼接測量功能模塊

5）物鏡轉盤：5孔電動

晶圓表面三維測量儀參數表

標準名	參數
ISO 4287-1997		主剖面	粗糙度	波紋度
	振幅參數	Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku	Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku	Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku
	間距參數	PSm,Pdq	RSm,Rdq	WSm,Wdq
	物料比參數	Pmr,Pdc	Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)	Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)
	峰值參數	PPc	RPc	WPc
ISO 13565	ISO 13565-2	Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk
ISO 12085	粗糙度圖形參數	R,AR,R× ,Nr
	波紋度圖形參數	W,AW,W×,Wte
	其他圖形參數	Rke,Rpke,Rvke
AMSE B46.1	2D參數	Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt
DIN EN ISO 4287-2010	原始輪廓參數	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度參數	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,
	波紋度參數	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
JIS B0601-2013	原始輪廓參數	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度參數	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
	波紋度參數	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
GBT 3505-2009	原始輪廓參數	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度參數	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
	波紋度參數	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr