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當前位置:武漢奧品立儀器設備有限公司>>行業測量儀分類>>芯片晶圓測量儀>> W1PRO12寸晶圓片3d輪廓測量儀

12寸晶圓片3d輪廓測量儀

參  考  價:500000 - 890000 /件
具體成交價以合同協議為準
  • 型號

    W1PRO

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質

    生產商

  • 所在地

    武漢市

聯系方式:涂經理查看聯系方式

更新時間:2023-11-09 07:45:06瀏覽次數:837次

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產地 國產 加工定制
適用行業 其他
12寸晶圓片3d輪廓測量儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

12寸晶圓片3d輪廓測量儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

標準配置

1)SuperView W2主機

2)影像系統:1024×1024;

3)光學Zoom:1×;

4)XY位移載物臺:自動位移臺;

5)物鏡轉盤:3孔手動

5)品牌計算機;

6)校準模塊;

7)操縱手柄;

8) 3D表面輪廓儀軟件一套;

9)電氣控制柜;

10)儀器配件箱;

11)便攜加壓充氣裝置一套;

12)產品使用說明書;

13)產品合格證、保修卡;

可選配置:

1) 干涉物鏡:2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

2) 自動光學變倍目鏡: 0.5×、1×、2×

3) 真空吸附臺(半導體晶圓片專用):6寸、8寸、12寸

4) 自動測量拼接測量功能模塊(須硬件支持)

5) 物鏡轉盤:5孔電動


12寸晶圓片3d輪廓測量儀參數表

標準名

參數

ISO 4287-1997


主剖面

粗糙度

波紋度

振幅參數

Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku

Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku

Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku

間距參數

PSm,Pdq

RSm,Rdq

WSm,Wdq

物料比參數

Pmr,Pdc

Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)

Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)

峰值參數

PPc

RPc

WPc

ISO 13565

ISO 13565-2

Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk

ISO 12085

粗糙度圖形參數

R,AR,R× ,Nr

波紋度圖形參數

W,AW,W×,Wte

其他圖形參數

Rke,Rpke,Rvke

AMSE B46.1

2D參數

Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt

DIN EN ISO 4287-2010

原始輪廓參數

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,

波紋度參數

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

JIS B0601-2013

原始輪廓參數

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波紋度參數

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

GBT 3505-2009

原始輪廓參數

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波紋度參數

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr


產品應用范圍

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