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IGBT全動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試設(shè)備
功率半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備igbt測(cè)試儀SiC|IGBT測(cè)試
功率半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測(cè)試設(shè)備
產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) | 加工定制 | 否 |
---|---|---|---|
集電極-發(fā)射極 最大電壓 | 3500V | 柵極-發(fā)射極 最大電壓 | 300V |
電容值范圍 | 0.01pF~9.9999F |
功率半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備igbt測(cè)試儀SiC|IGBT測(cè)試簡(jiǎn)介
普賽斯PMST功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),集多種測(cè)量和分析功能一體,可以精準(zhǔn)測(cè)量不同封裝類型功率器件(如MOSFET、BJT、IGBT,以及SiC、GaN第三代半導(dǎo)體等)的靜態(tài)參數(shù),具有高電壓和大電流特性、μΩ級(jí)導(dǎo)通電阻精確測(cè)量、納安級(jí)漏電流測(cè)量能力等特點(diǎn)。支持高壓模式下功率器件結(jié)電容測(cè)試,如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。 普賽斯PMST功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),配置有多種測(cè)量單元模塊,模塊化的設(shè)計(jì)測(cè)試方法靈活,能夠極大方便用戶添加或升級(jí)測(cè)量模塊,適應(yīng)測(cè)量功率器件不斷變化的需求。
系統(tǒng)組成
普賽斯PMST功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),主要包括測(cè)試主機(jī)、測(cè)試夾具、工控機(jī)、上位機(jī)軟件等構(gòu)成。整套系統(tǒng)采用普賽斯自主開發(fā)的測(cè)試主機(jī),內(nèi)置多種規(guī)格電壓、電流、電容測(cè)量單元模塊。結(jié)合專用上位機(jī)測(cè)試軟件,可根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目需要,設(shè)置不同的電壓、電流等參數(shù),以滿足不同測(cè)試需求。測(cè)試數(shù)據(jù)可保存與導(dǎo)出,并可生成I-V以及C-V特性曲線。此外,測(cè)試主機(jī)可與探針臺(tái)搭配使用,實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)芯片測(cè)試;也可與熱流儀、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測(cè)試需求。
測(cè)試主機(jī)內(nèi)部采用的電壓、電流測(cè)量單元,均采用多量程設(shè)計(jì),測(cè)試精度為0.1%。其中,柵極-發(fā)射極,蕞大支持30V@10A脈沖電流輸出與測(cè)試,可測(cè)試低至皮安級(jí)漏電流;集電極-發(fā)射極,蕞大支持6000A高速脈沖電流,典型上升時(shí)間為15μs,且具備電壓高速同步采樣功能;蕞高支持3500V電壓輸出,蕞高擴(kuò)展到12kV,且自帶漏電流測(cè)量功能。系統(tǒng)標(biāo)配C-V測(cè)試功能,支持Ciss/Coss/Crss參數(shù)及曲線測(cè)試,頻率默認(rèn)1MHz,可擴(kuò)展至10MHz
系統(tǒng)特點(diǎn)
高電壓:支持高達(dá)3.5KV高電壓測(cè)試(蕞大擴(kuò)展至12kV);
大電流:支持高達(dá)6KA大電流測(cè)試(多模塊并聯(lián));
高精度:支持uΩ級(jí)導(dǎo)通電阻、納安級(jí)漏電流測(cè)試;
模塊化設(shè)計(jì):內(nèi)部采用模塊化配置,可添加或升級(jí)測(cè)量單元;
測(cè)試效率高:可自動(dòng)切換、一鍵測(cè)試;
溫度范圍廣:支持常溫、高溫測(cè)試;
兼容多種封裝:根據(jù)測(cè)試需求可定制夾具;
系統(tǒng)參數(shù)
項(xiàng)目 | 參數(shù) | |
集電極-發(fā)射極 | 蕞大電壓 | 3500V(可拓展至12KV) |
最大電流 | 1000A(可拓展至6000A) | |
準(zhǔn)確度 | ±0.1% | |
大電壓上升沿 | 典型值5ms | |
大電流上升沿 | 典型值15μs | |
大電流脈寬 | 50μs~500μs | |
漏電流測(cè)試量程 | 1nA~100mA | |
柵極-發(fā)射極 | 蕞大電壓 | 300V |
蕞大電流 | 1A(直流)/10A(脈沖) | |
準(zhǔn)確度 | ±0.05% | |
最小電壓分辨率 | 30μV | |
最小電流分辨率 | 10pA | |
電容測(cè)試 | 典型精度 | ±0.5% |
頻率范圍 | 10Hz~1MHz | |
電容值范圍 | 0.01pF~9.9999F | |
溫控 | 范圍 | 25℃~200℃ |
準(zhǔn)確度 | ±2℃ |
測(cè)試項(xiàng)目
二極管:反向擊穿電壓VR、反向漏電流IR、正向電壓VF、 正向電流IF、電容值Cd、I-V曲線、C-V曲線
三極管:V(BR)CEO、V(BR)CBO、V(BR)EBO、ICBO、VCE(sat)、VBE(sat)、IC、IB、Ceb、 增益hFE,輸入特性曲線、輸出特性曲線、C-V特性曲線
Si MOS/IGBT/SiC MOS/GaN HEMT:V(BR)DSS/V(BR)CES、IDSS/ICES、VCE(sat)、RDS(on)、VSD/VF、VGS(th)/、VGE(th)、IGSS/IGES柵極內(nèi)阻Rg、輸入電容Ciss/Cies、輸出電容、Coss/Coes、反向傳輸電容Crss/Cres、跨導(dǎo)gfs、輸出特性曲線、 轉(zhuǎn)移特性曲線、C-V特性曲線
光耦(四端口以下):IF、VF、V(BR)CEO、VCE(sat)、ICEO、IR、輸入電容CT、輸出電容CCE、 電流傳輸比CTR、隔離電容CIO
功率半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備igbt測(cè)試儀SiC|IGBT測(cè)試認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表咨詢,普賽斯儀表專業(yè)研究和開發(fā)半導(dǎo)體材料與器件測(cè)試的專業(yè)智能裝備,產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體領(lǐng)域從晶圓到器件生產(chǎn)全產(chǎn)業(yè)鏈。推出基于高精度數(shù)字源表(SMU)的第三代半導(dǎo)體功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試方案,為SiC和GaN器件提供可靠的測(cè)試手段,實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體器件靜態(tài)參數(shù)的高精度、高效率測(cè)量和分析。如果您對(duì)普賽斯功率半導(dǎo)體器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試方案和國(guó)產(chǎn)化高精度源表感興趣,歡迎隨時(shí)聯(lián)系我們!
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