【儀表儀表網 儀表會議】9月8日，中國計量科學研究院在北京組織召開國家重點研發計劃項目NQI重點專項“納米幾何特征參量計量標準器研究及應用示范”項目實施方案論證會。來自北京航天航空大學、西安交通大學、天津大學、中科院微電子所等國內科研院所和重點大學的10多位專家參加會議。蘇州市計量測試院作為課題承擔單位參加了會議。
 

 

　　目前，我國納米計量量值傳遞體系尚不完善，納米幾何特征參量標準器存在不少空白，導致產業中大量的納米測量設備校準溯源依賴國外儀器生產商和檢測機構,限制我國先進制造業發展。
 

　　蘇州市計量測試院將通過開展“納米幾何特征參量計量標準器在先進制造產業應用示范”課題的研究，主要解決三個問題：一是針對量傳體系與產業脫節的技術問題，建立納米領域的社會公用計量標準，實現到國家計量基準的溯源。組織全國比對，確保全國計量標準量值的準確、一致、可靠。以點帶面，逐步在全國范圍內建立完善的納米計量量傳體系；二是針對平板顯示領域中微納幾何關鍵參數溯源方法缺失的技術問題，應用建立納米領域的社會公用計量標準，統一金屬、非金屬膜厚及ITO 電極尺寸定值過程中所涉及的掃描探針顯微鏡、三維光學輪廓儀等測量儀器的溯源問題。三是針對空氣潔凈領域中，由于測量儀器不同導致顆粒粒徑定值不統一的技術問題，通過用社會公用計量標準溯源的掃描電子顯微鏡的微觀分析技術，應用于潔凈領域的空氣顆粒粒徑等參數的測量，規范空氣顆粒粒徑等參數的測試方法，形成行業標準，保障產業中對潔凈度等級進行劃分的主要技術指標的準確。
 

　　朱建榮副長作為課題負責人，向各位專家介紹了課題的技術路線、研究難點、任務分解及實施進度安排。課題將圍繞先進制造產業計量需求，在產業密集區建立納米計量社會公用計量標準，組織全國比對確保量值準確可靠一致，逐步形成覆蓋全國的納米幾何量值傳遞體系，并開展應用示范，從根本上解決納米幾何標準器缺失和量傳體系與產業脫節的問題，打破國外壟斷，提升產品質量和競爭力。
 

　　(原文標題：我院參加NQI項目 “納米幾何特征參量計量標準器研究及應用示范”實施方案論證會)