【儀表網 儀表標準】近日，浙江省計量院“掃描探針顯微鏡校準裝置”通過了專家組現場考核，建立了全國納米計量領域社會公用計量標準。
 

 

　　掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope，SPM)是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發展起來的各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡AFM，激光力顯微鏡LFM，磁力顯微鏡MFM等等)的統稱，是上近年發展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工、自動控制技術、數字信號處理技術、應用光學技術、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術等現代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。
 

　　目前，浙江省計量院已具備微納幾何結構關鍵尺寸的計量校準能力，可為半導體企業、精密加工中心的關鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準的途徑，更加全面準確地為半導體、微電子行業的納米尺度關鍵尺寸檢測提供技術保障。
 

　　近年來，浙江省計量院為了加強質量技術基礎及體系建立，服務浙江省經濟轉型升級，圍繞“三強一制造”中心工作，不斷在裝備、醫療衛生、大氣治理、新材料等領域建立社會公用計量標準，滿足新產業領域發展的需要。
 

　　(原文標題：省計量院建立納米計量領域社會公用計量標準)