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  • Instec 圓形高低溫晶元夾盤(pán)系統(tǒng)

HCCx0xR Instec 圓形高低溫晶元夾盤(pán)系統(tǒng)

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)HCCx0xR
  • 品牌
  • 所在地國(guó)外
  • 更新時(shí)間2018-04-29
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量42
  • 人氣值2948
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同類(lèi)產(chǎn)品

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Instec高低溫晶元夾盤(pán)——來(lái)自液晶院校美國(guó)科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置
Instec 圓形高低溫晶元夾盤(pán)系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Instec高低溫晶圓夾盤(pán)——來(lái)自液晶院校美國(guó)科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置

 

 

圓形夾盤(pán)

高低溫晶圓夾盤(pán)系列

 

 

功能特點(diǎn)

 

可編程精密控溫

超低的盤(pán)面溫度梯度

獨(dú)立的上盤(pán)面真空氣槽,用于固定多種尺寸晶圓

尺寸超薄,可集成進(jìn)探針臺(tái)

支持頂桿孔

三軸(可選),用于防漏電

卡盤(pán)臺(tái)面不接地

下盤(pán)面真空吸氣槽(可選)

適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓

 

配件配置

 

高低溫晶圓夾盤(pán)

任選1臺(tái)

mK2000溫度控制器有USB/IEEE等接口供選

制冷系統(tǒng)

液氮泵

詳詢(xún)上海恒商

 

液氮罐

容量2L/10L/30L

 

水泵冷卻外殼防止過(guò)熱,并可加速自然冷卻

 

*注:”√”表示出廠配置中包含此項(xiàng)。詳詢(xún)sales@hsinstrument.com

 

技術(shù)參數(shù)

 

溫度分辨率

0.001℃(at 100℃)

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃(at 100℃)

溫度均勻度

±0.1℃/cm可升級(jí)均勻性

zui小控溫速度

±0.1℃/小時(shí)

傳感器/控制算法

100Ω鉑質(zhì)RTD

PID控制可選線性直流電源

表面光滑度

10 µm(常溫下)

*注:1、表中制冷數(shù)據(jù)為使用LN2-P4液氮泵時(shí)的表現(xiàn),液氮泵型號(hào)不同,制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異,請(qǐng)悉知。

2、性能可變通,詳情請(qǐng)sales@hsinstrument.com

 

 

 

 

 

 

 

結(jié)構(gòu)圖以300mm夾盤(pán)為例

 



 

 

型號(hào)規(guī)格

 

 

 

 

 

 

 

型號(hào)(字母T表示三軸接口)

盤(pán)面尺寸

適用樣品尺寸

溫度范圍

zui大制熱速度

HCC206R/HCC206RT

150 mm

12 mm~152 mm

-100℃~200℃

+60℃/分鐘(at 100℃)

HCC306R/HCC306RT

-100℃~310℃

HCC208R/HCC208RT

200 mm

40 mm~203 mm

-80℃~200℃

+50℃/分鐘(at 100℃)

HCC308R/HCC308RT

-80℃ ~310℃

HCC20CR/HCC20CRT

300 mm

95 mm~304 mm

-60℃~200℃

+30℃/分鐘(at 100℃)

HCC30CR/HCC30CRT

-60℃~310℃

*注:1、表中制冷數(shù)據(jù)為使用LN2-P4液氮泵時(shí)的表現(xiàn),液氮泵型號(hào)不同,制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異,請(qǐng)悉知。

    2、夾盤(pán)上下表面的獨(dú)立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮

3、性能可變通,詳情請(qǐng)sales@hsinstrument.com

 

 

 

高低溫晶圓夾盤(pán)常用產(chǎn)品一覽表

型號(hào)

溫度范圍1

樣品區(qū)

三軸

方形

圓形

帕爾貼制冷2

HCC206R

-100℃ to 200℃

152 mm 直徑

 

 

Yes

 

HCC206RT

-100℃ to 200℃

152 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC306R

-100℃ to 310℃

152 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC306RT

-100℃ to 310℃

152 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC208R

-80℃ to 200℃

203 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC208RT

-80℃ to 200℃

203 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC308R

-80℃ to 310℃

203 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC308RT

-80℃ to 310℃

203 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC20CR

-60℃ to 200℃

304 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC20CRT

-60℃ to 200℃

304 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC30CR

-60℃ to 310℃

304 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC30CRT

-60℃ to 310℃

304 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC214S

-120℃ to 200℃

101 mm x 101 mm

 

Yes

 

 

HCC314S

-120℃ to 310℃

101 mm x 101 mm

 

Yes

 

 

HCC216S

-100℃ to 200℃

152 mm x 152 mm

 

Yes

 

 

HCC316S

-100℃ to 310℃

152 mm x 152 mm

 

Yes

 

 

HCC218S

-80℃ to 200℃

203 mm x 203 mm

 

Yes

 

 

HCC318S

-80℃ to 310℃

203 mm x 203 mm

 

Yes

 

 

HCC602

-190℃ to 600℃

35 mm x 35 mm

 

Yes

 

 

HCC302

-120℃ to 310℃

48 mm x 60 mm

 

Yes

 

 

TC102S

-25℃ to 90℃

40 mm x 40 mm

 

Yes

 

Yes

TC104S

-25℃ to 90℃

100 mm x 100 mm

 

Yes

 

Yes

1部分型號(hào)可擴(kuò)大溫度范圍,請(qǐng)上海恒商以了解。

2帕爾貼制冷:冷熱臺(tái)使用帕爾貼冷卻,無(wú)需附加任何制冷配件即可制造低溫環(huán)境。(例如LN2-SYS液氮冷卻裝置、WPC3A/WPC3U液冷裝置)

 

欲了解更多型號(hào)詳請(qǐng),請(qǐng)咨詢(xún)上海恒商

 

另:Instec英斯特科的主要產(chǎn)品包括:

 

高精度溫控裝置

  冷熱臺(tái)

  高低溫晶圓夾盤(pán)

  冷熱平板

液晶參數(shù)測(cè)試儀

液晶測(cè)試空盒

液晶材料

 

欲咨詢(xún)產(chǎn)品請(qǐng)本公司上海恒商精密儀器有限公司

 




本公司為美國(guó)Instec中國(guó)區(qū)總代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中國(guó)區(qū)*代理,不經(jīng)過(guò)中間商直接與原廠接觸,因此能提供*惠的價(jià)格。

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