方形夾盤

高低溫晶圓夾盤系列

功能特點

可編程精密控溫

超低的盤面溫度梯度

獨立的上盤面真空氣槽，用于固定多種尺寸晶圓

尺寸超薄，可集成進探針臺

支持頂桿孔

三軸（可選），用于防漏電

卡盤臺面不接地

下盤面真空吸氣槽（可選）

適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓

配件配置

高低溫晶圓夾盤

任選1臺

mK2000溫度控制器有USB/IEEE等接口供選

√

制冷系統

液氮泵

詳詢上海恒商

液氮罐

容量2L/10L/30L

水泵冷卻外殼防止過熱，并可加速自然冷卻

*注：”√”表示出廠配置中包含此項。詳詢sales@hsinstrument.com

技術參數

溫度分辨率

0.001℃(at 100℃)

溫度穩定性

±0.05℃(at 100℃)

溫度均勻度

±0.1℃/cm可升級均勻性

zui小控溫速度

±0.1℃/小時

傳感器/控制算法

100Ω鉑質RTD

PID控制可選線性直流電源

表面光滑度

10 µm(常溫下)

*注：1、表中制冷數據為使用LN2-P4液氮泵時的表現，液氮泵型號不同，制冷表現也會有差異，請悉知。

2、性能可變通，詳情請sales@hsinstrument.com

結構圖–以150mm夾盤為例

型號規格

型號

盤面尺寸

適用樣品尺寸

溫度范圍

zui大制熱速度

HCC214S

100 mm

12 mm～101 mm

-120℃～200℃

+60℃/分鐘(at 100℃)

HCC314S

-120℃～310℃

HCC216S

150 mm

12 mm～152 mm

-100℃～200℃

+50℃ /分鐘(at 100℃)

HCC316S

-100℃～310℃

HCC218S

200 mm

40 mm～203 mm

-80℃～200℃

+35℃/分鐘(at 100℃)

HCC318S

-80℃～310℃

*注：1、表中制冷數據為使用LN2-P4液氮泵時的表現，液氮泵型號不同，制冷表現也會有差異，請悉知。

    2、夾盤上下表面的獨立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮

3、性能可變通，詳情請sales@hsinstrument.com