上海續波光電技術有限公司是一家專業從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料、光學軟件等產品進口的技術貿易服務型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業建立了戰略合作關系；目前服務于國內從事微電子、半導體、光學、納米技術等領域的研究所和大學。主要產品包括：濺射、蒸發鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設備、CVD金剛石沉積設備、激光輔助化學束沉積設備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產品，光學設計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設計軟件等。
*配置：
蒸發腔體：
泵裝置：低溫泵/TMP+ 葉片泵/干泵；
真空度通常10-8Torr
電子束蒸發源：6-15KW
Load lock預真空進樣室：
泵裝置：TMP+葉片泵/干泵，
真空度<10-7 Torr
襯底支架：可加載4英寸襯底
襯底3D轉動
襯底傾斜：角度范圍請咨詢, 精度和重復性優于0.1°（可升級）；
襯底旋轉：20rpm.
氣體接口：注射氧氣及其他氣體來實現清潔和氧化過程
襯底清洗：配備離子槍
石英晶振膜厚控制儀；
頻率分辨率：10-4Hz或更優
速率控制分辨率: 0.01 ?/s；
厚度分辨率: 0.01?
全自動軟件包，支持半自動和手動模式，支持遠程網絡操作和維護。
典型用戶：Yale University、UCSB、普林斯頓大學、University of Waterloo、法國科學研究中心、University of Glasgow、日本NTT、清華大學等
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| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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