上海續波光電技術有限公司是一家專業從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料、光學軟件等產品進口的技術貿易服務型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業建立了戰略合作關系；目前服務于國內從事微電子、半導體、光學、納米技術等領域的研究所和大學。主要產品包括：濺射、蒸發鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設備、CVD金剛石沉積設備、激光輔助化學束沉積設備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產品，光學設計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設計軟件等。
預處理腔：襯底旋轉、傾斜（3D）；真空度10-8 Torr
蒸發鍍膜腔：電子槍6-15KW；
可加載4英寸襯底；襯底旋轉、傾斜，精度和重復性優于0.01°（可升級）
真空度10-10 Torr或10-11 Torr
頻率分辨率10-4 Hz或更高；速率分辨率10-3 nm/s；厚度分辨率10-2 nm
氧化腔體：靜態/動態氧化（氧氣、氮氣等）；
真空度<10-8 Torr
全自動軟件包，支持半自動和手動模式，支持遠程網絡操作和維護。
典型用戶：耶魯大學、日本NTT、中科院物理所等
歡迎進一步咨詢！
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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