現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此,布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性(無泄漏)的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度,該流路專為防止外部污染(如濕氣和氧氣)腐蝕過程媒介而設(shè)計(jì)。
關(guān)鍵應(yīng)用
- 光纖制造 - MCVD
- 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝
- CVD(蒸汽形式的前體輸送)
- 剝落(水蒸氣)
- 腐蝕(水蒸氣鈍化)
產(chǎn)品
- 工作溫度
- 高精度和可重復(fù)性
- 超高純度結(jié)構(gòu)
3 sccm - 10 slm