湖北小型探針臺技術參數腔體
樣品臺尺寸:1.5英寸
樣品固定方式:彈簧壓片
觀察窗口:2英寸
真空度:10-3torr(機械泵)/10-6torr(分子泵)
探針臂接口:最多6個探針臂接口
其它接口:多6個探針臂接口
制冷方式:電信號接口、真空接口、控溫接口液氨
控溫方式:溫控器
溫度范圍:77K-473K/573K/873K/
溫度分辦率:0.1K/0.01K/0.001K
穩定性:士1K/士0.1K/士0.01K
顯微鏡
移動形式:全范圍移動
光源:同柚光源
CCD:1200萬像素
顯微鏡倍率:0.6X-5X
光學放大倍率:18-200倍
調焦行程:42mm
探針臂
X Y- 行程:Y50mm+XYZ12mm*12mm*12mm
組成結構:外置採針臂,真空波線管績構
移動精度:2um/0.5um
探針夾具
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
探針固定:螺絲固定
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
探針
頻率支持:DC-100Mhz
針尖大小:0.2um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
材質:鎢鋼/鈹銅
湖北小型探針臺技術參數典型應用場景
半導體器件研發
材料特性表征:測量硅、GaAs、GaN等半導體材料的電阻率、遷移率、載流子濃度,優化材料生長工藝。
器件電學測試:評估晶體管(如MOSFET、HEMT)的導通特性、擊穿電壓、噪聲系數,指導器件結構優化。
光電與傳感器開發
光電探測器測試:分析LED、激光二極管、光電二極管的光功率、量子效率、暗電流,提升光電轉換效率。
傳感器靈敏度驗證:檢測壓力傳感器、溫度傳感器與生物傳感器的響應特性,優化傳感器的靈敏度與線性度。
失效分析與可靠性驗證
封裝器件測試:檢測封裝后芯片的引腳鍵合強度、熱阻、ESD耐受性,確保器件在復雜環境下的可靠性。
熱循環測試:通過快速溫變(如-40℃至150℃)模擬器件在實際使用中的熱應力,評估封裝材料的熱匹配性與失效風險。