濺射儀光纖夾具:是用于固定光纖、實現精密鍍膜的關鍵部件,通常由耐高溫不銹鋼或陶瓷制成,兼容真空環境(≤10?? Pa)。它能精準夾持125-250μm的光纖,部分型號支持旋轉功能,確保濺射金屬或介質薄膜均勻覆蓋光纖表面,廣泛應用于光纖傳感器、光通信器件和科研實驗。其無磁性設計避免干擾磁控濺射過程,是制備高性能光學涂層的理想工具
核心功能與特點
精準定位
專為濺射鍍膜設計,可穩定固定光纖(單芯/多芯),確保鍍膜均勻性。
適配φ125-250μm標準光纖,部分型號支持自定義夾持范圍。
耐真空與耐高溫
材質:不銹鋼或陶瓷(可選),耐真空環境(≤10?? Pa)及短期200°C高溫。
無磁性設計,避免干擾磁控濺射過程。
兼容性
適配主流濺射儀(如鄭科探PVD系列、國產/進口機型)。
可選旋轉功能(提升鍍膜均勻性)。
技術參數(示例型號)
項目 | 參數 |
---|---|
夾持直徑 | 125-250μm(可定制) |
材質 | 316不銹鋼/氧化鋁陶瓷 |
真空兼容性 | ≤10?? Pa |
轉速(選配) | 10-30 RPM |
適用光纖類型 | SMF/MMF/特種光纖 |
濺射儀光纖夾具 應用場景
光纖傳感器鍍膜:如FBG(光纖光柵)金屬化封裝。
光學器件制備:增透膜、反射膜的濺射沉積。
科研領域:微納光纖功能涂層實驗。
使用注意事項
安裝前:用乙醇清潔夾具,避免有機物污染真空腔。
負載限制:單次夾持光纖數量≤6根(避免遮擋濺射靶材)。
維護:定期檢查夾持端是否磨損,防止光纖滑脫。