產(chǎn)品特點
PRODUCT FEATURES
無塵烘箱廣泛用于半導體晶圓、液晶、光學模組、攝像頭模組和其他對烘烤要求較高的零件以及設備的熱處理/干燥或老化，也適用于安裝在潔凈室環(huán)境中。100級的清潔度主要通過使用初效過濾器，HEPA高效過濾器和前后層流循環(huán)系統(tǒng)來實現(xiàn)的，在加熱或冷卻過程中提供穩(wěn)定的性能。
簡單便捷的PID 微處理器溫度控制范圍可從環(huán)境溫度 +15°C至 200°C 范圍內(nèi)設置。無塵烘箱采用PT100鉑傳感器測量實際的腔室溫度， 0.3µmHEPA高效過濾器，對空氣進行有效循環(huán)過濾。還可以選配流量計和NPT配件，將惰性氣體引入腔室內(nèi)進行特殊工藝烘烤。
無塵烘箱外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理；內(nèi)部是耐腐蝕的不銹鋼。配備四個可調(diào)節(jié)的穿孔不銹鋼托架，支架和機身易于拆卸，便于清洗。
安全功能包括獨立超溫保護，相序保護，斷電保護等多重保護機制，確保使用安全。設有安全門，烘烤降溫到溫度后才可以打開門，確保操作人員操作安全。
產(chǎn)品特點
● 所有焊接和密封結構確保持續(xù)低顆粒數(shù)；
● 內(nèi)腔采用不銹鋼（304型），耐腐蝕；
● 內(nèi)膽采用滿焊處理，管路采用無縫不銹鋼管件焊接處理；
● 外部烤漆為白色粉末涂層，可提供持久的防腐蝕保護；
● 利用玻璃纖維絕緣，以確保機柜較低的表面溫度；
● 重型門雙密封保溫結構；
● 獨立的超溫保護；
● 每個烤箱都是組裝的和通過工廠的獨立測試；
● 耐熱HEPA空氣過濾輸送系統(tǒng)；
● 所有再循環(huán)空氣進行循環(huán)過濾，不使用環(huán)境潔凈室空氣；
● 在過濾器需更換時，能夠通過空氣壓力表了解；
● 高容量水平空氣再循環(huán)系統(tǒng)和電加熱系統(tǒng)可實現(xiàn)性能溫度。
選配組件
1、溫度記錄器（紙質(zhì)化或無紙化）
2、可編程控制器、以太網(wǎng)和485/232通信
3、用于運輸和安裝的無塵室包裝
4、層架
5、MES通訊設置
產(chǎn)品參數(shù)
PRODUCT PARAMETERS
溫度范圍 | 室溫.+20~200℃ |
控制精度 | +/- 1.0℃ |
溫度分布精度 | ±2℃(在100℃)，±3℃(在150℃) |
溫度提升時間 | 約25min（室溫，→150℃）。空腔室 |
操作功能 | 可選固定溫度或程序操作 |
內(nèi)部尺寸（高*寬*深） | 910x620x620(mm) |
外部尺寸（高*寬*深） | 1750x855x1030(mm) |
工作空間容量 | 350升（12.3立方英尺） |
過濾裝置 | 150mm HEPA耐高溫高效過濾器 |
電源 | 3相380V |
定制服務
CUSTOM SERVICE深圳怡和興可以提供不同程度的均勻性、尺寸、溫度范圍；如果您有特定的要求或規(guī)格，請根據(jù)您的需求與我們聯(lián)系，以便我們確保設備的設計、測試和調(diào)整能夠滿足您的要求。
