設(shè)備簡介
怡和興四門四控自動門烘箱是一種專為半導體工業(yè)生產(chǎn)設(shè)計的高精度熱處理自動化設(shè)備，集成了自動化控制、真空環(huán)境、無氧保護、無塵操作以及高效冷卻等功能，確保烘烤過程的精確性和產(chǎn)品的高質(zhì)量。烘箱自動開關(guān)門，能與AGV（自動引導車）或晶圓機械手協(xié)作的能力，實現(xiàn)自動化上下料動作，提高生產(chǎn)效率并減少人工操作，適用于小批量自動化連續(xù)生產(chǎn)應(yīng)用。并具有自診斷電路、過升防止器、漏電保護開關(guān)等安全功能。主要用于材料的烘干、固化、老化、熱處理等工藝過程，廣泛應(yīng)用于半導體晶圓、玻璃基板、精密封裝、精密電子及新材料等領(lǐng)域。
設(shè)備特點
● 高精度溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度可達0.5℃，確保烘烤過程的溫度均勻性和穩(wěn)定性。
● 采用自動化控制系統(tǒng)，集成PLC可編程邏輯控制器與高清觸摸屏操作界面，實現(xiàn)烘箱運行的全自動化管理。
● 多腔體集成式結(jié)構(gòu)，適合配合自動化整線項目，可實現(xiàn)本地數(shù)據(jù)儲存，實時數(shù)據(jù)與MES通訊，以及與機械手動作聯(lián)動等。
● 每個腔體可獨立工作，采用自動開關(guān)門，能夠與晶圓機械手或AGV自動引導車配合工作，實現(xiàn)自動化上下料動作，適用于小批量自動化連續(xù)生產(chǎn)應(yīng)用。
● 兼容真空和充氮環(huán)境控制，實現(xiàn)無氧無塵烘烤，工作真空范圍101kPa-10-5Pa，低殘留O2（<20ppm），無塵烘烤（class100）適用于對環(huán)境要求極高的烘烤過程。
● 具備智能PID自動恒溫控制，可設(shè)定開機計時、恒溫計時，時間到自動警報及斷開發(fā)熱體，超溫自動警報及斷開發(fā)熱體，電源缺相保護等。
● 腔體數(shù)量，開關(guān)門方式，控制方式，自動化方式以及通訊方式等可以根據(jù)項目需求非標定制。
應(yīng)用領(lǐng)域
● 玻璃基板的烘烤，包括高溫烘烤以固化表面涂層或去除水分等。
● 半導體晶圓片在光刻、涂膠、鍍膜等工藝流程中的前烘烤、軟烘和堅膜硬烘等步驟。
● LED芯片和光伏電池片的烘烤固化過程，確保材料的物理和化學穩(wěn)定性。
● 鋰離子電池制造過程中，用于極片和電池的真空烘烤，確保材料的干燥和固化。
● 光學鍍膜工藝中，用于烘烤光學鏡片和其他光學元件，以確保鍍膜的均勻性和附著力。
● 電子組件的老化、退火、測試、固化、干燥等工藝過程，確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能。
● PI（聚酰亞胺）固化，銀膠、光刻膠固化，鍍金方案中感濕膜烘烤，硅片（晶圓）高溫退火等。
● 在新材料的研發(fā)和測試中，可以提供高溫和無氧環(huán)境，以研究材料在特定條件下的反應(yīng)和變化。
