Φ300 mm切割機的機型
Φ300 mm
對向式雙主軸
全自動雙工作臺切割機
DFD6760是以自動切割機DFD6362為基礎，為進一步提高生產效率而開發的機型。DFD6760配置有2個工作臺，一個工作臺進行加工，另一個工作臺可同時進行搬送/定位校準，從而可以縮短主軸的加工待機時間，提高生產效率。除此之外，一個工作臺進行切割時，另一個工作臺進行加工后圓晶的影像記錄或利用NSD※進行圓晶厚度測定等，可在維持產能效率的同時進行檢查和測定。 而且和以往機型一樣，提高了X，Y，Z軸的返回速度，從而縮短了加工時間。
※ Non-contact Surface Detector（非接觸式圓晶測高器/選配）
維持產能的同時提高圓晶加工質量
在薄晶圓的階梯式切割中，控制從晶圓表面切入的深度非常重要。利用控制切入深度時所使用的NSD可實現從晶圓表面進行高精度的高度測定。雖然NSD約需費時10秒，但由于DFD6760是在利用一個工作臺進行晶圓加工的同時另一邊實行NSD，因此不會對產能造成影響。
豐富的微粒對策
可以結合工作物的特性，選配DFD6362中備受好評的切割部雙流體噴射，磨輪罩以及工作臺水簾等。
支持可追溯性構筑的需求
DFD6760配置有2個工作臺，一個工作臺進行切割作業， 另一個工作臺可同時進行保存加工后圓晶的刀痕影像，記錄加工質量。近年來，制造現場要求確保可追溯性，以便在產品發生了缺陷時，也可以確認和證明切割時的品質。
操作簡便
通過搭載DFD6362中備受好評的LCD觸摸屏及圖形用戶接口GUI（Graphical User Interface），提高了操縱性。
加工記錄閱覽軟件「Dicer Image Viewer」
本機型與以往機型的加工流程比較
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| MY1?MY2-axis | Index step | mm | 0.0001 | |
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW/High-speed rotation） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（High-speed rotation) | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,900 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 2,750 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。 ※ 機器的使用條件，請先確認標準規格書。
