電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產生具有不同溶解性能的區域,根據不同區域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區域參考資料編輯區域
查看詳情電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產生具有不同溶解性能的區域,根據不同區域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區域參考資料編輯區域
查看詳情摘要 上海伯東日本*適合小規模量產使用和實驗室研究的離子蝕刻機, 一般通氬氣 Ar, 無污染, 內部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 殘余質譜監測當前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
在線詢價摘要 Leica EM ACE900 冷凍斷裂系統在一臺儀器中對樣品完成冷凍斷裂、冷凍蝕刻和電子束鍍膜。通過旋轉冷凍式載臺,利用電子束進行高分辨率碳/金屬復合鍍膜,適用于任何TEM和SEM分析,可提供靈活的投影選擇。
在線詢價摘要 刻蝕設備PlasmaPro1000 Astrea新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蝕設備,該設備可以為PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蝕提供解決方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。
在線詢價摘要PLUTO-WIN是面向科研及企業研發客戶使用需求設計的高性價比ICP等離子體系統。作為一個多功能系統,它通過優化的系統設計與靈活的配置方案,獲得高性能ICP刻蝕工藝。該設備結構緊湊占地面積小,專業的機械設計與優化的自動化操作軟件使該設備操作簡便、安全,且工藝穩定重復...
在線詢價摘要PLUTO-WIN是面向科研及企業研發客戶使用需求設計的高性價比CCP等離子體系統。作為一個多功能系統,它通過優化的系統設計與靈活的配置方案,獲得高性能CCP刻蝕工藝。該設備結構緊湊占地面積小,專業的機械設計與優化的自動化操作軟件使該設備操作簡便、安全,且工藝穩定重復...
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