KJ-T1600 CVD 是一種管式爐，具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。
技術參數：
| 產品名稱 | 3通道CVD設備 | |
| 型號 | KJ-T1600 -3M | |
| 管式爐部分 | 顯示 | 液晶觸摸屏 |
| 溫度 | 1600℃ | |
| 工作溫度 | ≤1500℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區 | 300mm | |
| 加熱元件 | MoSi2 | |
| 熱電偶 | B型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 80x1000mm | |
| 材質：氧化鋁管 | ||
| 塞磚 | 包括兩個纖維陶瓷塊，用于阻擋來自管內的熱輻射（陶瓷塊必須在加熱前插入爐腔）。 | |
| 溫度控制 | PID自動控制 | |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 | |
| 電源 | 220V, 50 Hz, 單相6KW | |
| 質量流量計 （液晶觸摸屏） | 三臺精密質量流量計： MFC 1：氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3：氣體流量范圍0~200 sccm （氣體流量范圍可根據您的要求） 底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側安裝3個不銹鋼針閥，手動控制3種氣體混合 | |
| 更多參數可按需定制 | ||
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