KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統(tǒng)。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴散。
技術參數：
| 模型 | KJ-T1200 | |
| 部分：標準件 | ||
| 管式爐 | 展示 | LED類型 |
| 限度溫度 | 1200℃ | |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 升溫速率 | 建議：0~10℃/min | |
| 溫區(qū) | 300mm + 300mm 雙區(qū) | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ () | |
| 管尺寸 | 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L) | |
| 材質：石英管 | ||
| 溫度控制 | 通過可控硅功率控制進行PID自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30 步可編程 | |
| 真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭。 法蘭的一端有 2 個帶倒鉤的針閥，裝有機械壓力表。 法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口 | |
| 功率 | 220V，50 Hz，單相 6KW | |
| 真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10 -3 Torr。 管內的真空度約為 10 -1 Torr。 （RM溫度和空管條件） 流量：2.6 L / S （泵照片僅供參考，實際外觀取決于最終設計） 旋片真空泵將設計成帶輪子的推車。帶連接附件 包括數字真空計 3.8x10 -5 至 1125 Torr 測量范圍 耐腐蝕，與氣體類型無關 |
| 帶液晶觸摸屏控制器的定制質量流量計 （七星級品牌） | 一個浮子流量計 + 四個精密質量流量計： MFC 精度為：±1.5% FS MFC 1 用于氮氣：氣體流量范圍為 0~100 sccm 氫氣 MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3 用于甲烷：氣體流量范圍 0~100 sccm 氬氣 MFC 4： 氣體流量范圍 0~100 sccm 氧氣 MFC 5： 氣體流量范圍 0~100 sccm FFC 1 氬氣和氮氣混合氣體： 氣體流量范圍 0~100sccm 一種氣體混合罐（僅適用于 5 MFC）安裝在底殼上，5 個不銹鋼針閥安裝在底殼左側，用于手動控制 5 種氣體混合。 | |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
