KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計(jì)+一個(gè)浮子流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
技術(shù)參數(shù)：
| 模型 | KJ-T1200 | |
| 部分：標(biāo)準(zhǔn)件 | ||
| 管式爐 | 展示 | LED類型 |
| 限度溫度 | 1200℃ | |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 升溫速率 | 建議：0~10℃/min | |
| 溫區(qū) | 300mm + 300mm 雙區(qū) | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ () | |
| 管尺寸 | 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L) | |
| 材質(zhì)：石英管 | ||
| 溫度控制 | 通過(guò)可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制 | |
| 加熱曲線 | 30 步可編程 | |
| 真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭。 法蘭的一端有 2 個(gè)帶倒鉤的針閥，裝有機(jī)械壓力表。 法蘭的另一端有一個(gè)帶倒鉤針閥的 KF25 端口 | |
| 功率 | 220V，50 Hz，單相 6KW | |
| 真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10 -3 Torr。 管內(nèi)的真空度約為 10 -1 Torr。 （RM溫度和空管條件） 流量：2.6 L / S （泵照片僅供參考，實(shí)際外觀取決于最終設(shè)計(jì)） 旋片真空泵將設(shè)計(jì)成帶輪子的推車(chē)。帶連接附件 包括數(shù)字真空計(jì) 3.8x10 -5 至 1125 Torr 測(cè)量范圍 耐腐蝕，與氣體類型無(wú)關(guān) |
| 帶液晶觸摸屏控制器的定制質(zhì)量流量計(jì) （七星級(jí)品牌） | 一個(gè)浮子流量計(jì) + 四個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 精度為：±1.5% FS MFC 1 用于氮?dú)猓簹怏w流量范圍為 0~100 sccm 氫氣 MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3 用于甲烷：氣體流量范圍 0~100 sccm 氬氣 MFC 4： 氣體流量范圍 0~100 sccm 氧氣 MFC 5： 氣體流量范圍 0~100 sccm FFC 1 氬氣和氮?dú)饣旌蠚怏w： 氣體流量范圍 0~100sccm 一種氣體混合罐（僅適用于 5 MFC）安裝在底殼上，5 個(gè)不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè)，用于手動(dòng)控制 5 種氣體混合。 | |
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