SMD1013空氣質量傳感器是基于MEMS工藝的金屬氧化物材料開發的微型氣體傳感器，可用于檢測空氣中的VOC氣體含量，該傳感器具有低功耗、小尺寸、低成本等特點。是將敏感材料涂布于電極上，當被檢測氣體接觸敏感材料時，敏感材料的電導率會發生變化，使用特定的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
本品采用MEMS工藝，結構堅固，抗震性好；
具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、
驅動電路 簡單、穩定性好、壽命長等優點。
產品參數：
| 產品型號 | SMD1013 | |||
| 產品類型 | MEMS半導體傳感器 | |||
| 標準封裝 | 陶瓷封裝 | |||
| 檢測氣體 | 酒精、甲苯、丙酮、甲醛等有機揮發性氣體 | |||
| 檢測濃度 | 0～100ppm(乙醇) | |||
| 分辨率 | 0.2ppm（乙醇） | |||
| 標準電路條件 | 回路電壓 | VC | ≤5V或3.3V | |
| 加熱電壓 | VH | 3.3±0.1V AC / DC | ||
| 負載電阻 | RL | 可調（以出貨報告為準） | ||
| 標準測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 310Ω±20Ω（室溫） | |
| 加熱功耗 | PH | ≤35mW | ||
| 敏感體電阻 | RS | 10～300KΩ(in air) | ||
| 靈敏度 | S | R0(in air)/Rs(in 10ppm酒精)≥6 | ||
| 斜率 | α | ≤0.5(R10ppm/R1ppm酒精) | ||
| 標準測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | ||
| 標準測試電路 | VC:5V或3.3±0.1V； | |||
| VH:3.3V±0.1V | ||||
| 預熱時間 | 3-5min | |||
| 響應時間（T90） | <30s | |||
| 恢復時間（T10） | <60s | |||
| 壽命 | ≥3年 | |||
示意圖：
Terminal Functions NO. NAME DESCRIPTION 1 HOT Heater 2 RS1 Sensor electrode 3 NG / 4 NG / 5 NG / 6 NG / 7 HOT Heater 8 RS1 Sensor electrode
基本電路
傳感器典型的靈敏度對數特性曲線：
1、 必須避免的情況
1.1 暴露于可揮發性硅化合物蒸氣中
傳感器要避免暴露于硅粘接劑、發膠、硅橡膠、膩子或其它存在可揮發性硅化合物的場所。如果傳感器的表面吸附了硅化合物蒸氣，傳感器的敏感材料會被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹，抑制傳感器的敏感性，并且不可恢復。
1.2 高腐蝕性的環境
傳感器暴露在高濃度的腐蝕性氣體（如 H2S，SOX，Cl2，HCl 等）中，不僅會引起加熱材料及傳感器引線的腐蝕或破壞，并會引起敏感材料性能發生不可逆的劣變。
1.3 堿、堿金屬鹽、鹵素的污染
傳感器被堿金屬尤其是鹽水噴霧污染后，或暴露在鹵素如氟利昂中，也會引起性能劣變。
1.4 接觸到水
濺上水或浸到水中會造成傳感器敏感特性下降。
1.5 結冰
水在傳感器敏感材料表面結冰會導致敏感層碎裂而喪失敏感特性。
1.6 施加電壓過高
如果給傳感器或加熱器施加的電壓高于規定值，即使傳感器沒有受到物理損壞或破壞，也會造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。
1.7 電壓加錯管腳
如果給傳感器或加熱和信號管腳電壓加錯，也會造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。
