主要特點(diǎn)：
采用MEMS工藝、半導(dǎo)體材料
尺寸小、功耗低、靈敏度高、分辨率高、響應(yīng)恢復(fù)快
驅(qū)動(dòng)電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、抗震性好
技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào) SMD1007 產(chǎn)品類型 MEMS半導(dǎo)體傳感器 標(biāo)準(zhǔn)封裝 陶瓷封裝 檢測氣體 硫化氫（H2S） 檢測濃度 0～3ppm(H2S) 分辨率 0.01ppm 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 回路電壓 VC 5V or 3.3V DC 加熱電壓 VH 1.8V±0.05V DC 負(fù)載電阻 RL 可調(diào)（以出貨報(bào)告為準(zhǔn)） 標(biāo)準(zhǔn)測試條件下氣敏元件特性 加熱電阻 RH 45Ω±5Ω（室溫） 加熱功耗 PH ≤36mW 敏感體電阻 RS 10KΩ～100KΩ 靈敏度 S Rs(in air)/Rs(in 0.4ppm H2S)≥2 斜率 α ≤0.5(R 1ppm/R 0.2ppm H2S) 標(biāo)準(zhǔn)測試條件 溫度、濕度 20℃±2℃；55%±5%RH 標(biāo)準(zhǔn)測試電路 VC: 5Vor3.3V±0.1V； VH:1.8V±0.05V 預(yù)熱時(shí)間 3-5分鐘 相應(yīng)時(shí)間（T90） <30s 恢復(fù)時(shí)間（T10） <60s 壽命 ≥3年
模組尺寸：
基本電路
管腳定義
| Terminal Functions | ||
| NO. | NAME | DESCRIPTION |
| 1 | HOT | Heater |
| 2 | RS1 | Sensor electrode |
| 3 | NG | / |
| 4 | NG | / |
| 5 | NG | / |
| 6 | NG | / |
| 7 | HOT | Heater |
| 8 | RS1 | Sensor electrode |
（響應(yīng)恢復(fù)曲線）
傳感器暴露在高濃度的腐蝕性氣體（如SOX，Cl2，HCl 等）中，不僅會(huì)引起加熱材料及傳感器引線的腐蝕或破壞，并會(huì)引起敏感材料性能發(fā)生不可逆的劣變。
1.3 堿、堿金屬鹽、鹵素的污染
傳感器被堿金屬尤其是鹽水噴霧污染后，或暴露在鹵素如氟利昂中，也會(huì)引起性能劣變。
1.4 接觸到水
濺上水或浸到水中會(huì)造成傳感器敏感特性下降。
1.5 結(jié)冰
水在傳感器敏感材料表面結(jié)冰會(huì)導(dǎo)致敏感層碎裂而喪失敏感特性。
1.6 施加電壓過高
如果給傳感器或加熱器施加的電壓高于規(guī)定值，即使傳感器沒有受到物理損壞或破壞，也會(huì)造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。
1.7 電壓加錯(cuò)管腳
如果給傳感器或加熱和信號(hào)管腳電壓加錯(cuò)，也會(huì)造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。
