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公司介紹主營產(chǎn)品

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司（代碼688665）的全資子公司，成立于2010年，前身為湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，簡稱：四方儀器，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術(shù)企業(yè)，服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領(lǐng)域。

基于四方光電核心氣體傳感技術(shù)平臺的優(yōu)勢，湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外（NDIR）、紫外差分吸收光譜（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）、熱導(dǎo)（TCD）、光散射探測（LSD）等技術(shù)原理的氣體成分流量儀器儀表，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質(zhì)能源等各個行業(yè)，在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

四方儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產(chǎn)品證書，紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學(xué)會優(yōu)秀產(chǎn)品獎榮譽，其核心技術(shù)獲得湖北省發(fā)明金獎。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強基工程重點“產(chǎn)品、工藝”應(yīng)用計劃示范項目，公司獲得應(yīng)用計劃示范企業(yè)。

四方儀器憑借長期的技術(shù)沉淀、嚴(yán)格的質(zhì)量體系及國際化視野，產(chǎn)品已出口多個國家和地區(qū)，正在朝著氣體分析儀器儀表增值應(yīng)用領(lǐng)域的國際品牌邁進。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是	檢測原理	NDIR
檢測氣體	WF6、CF4、SF6、NF3、CO2	量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.	檢測限	1ppm

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品詳情

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計，便于集成

紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)

檢測原理	NDIR
檢測氣體	WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測限	1ppm

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

關(guān)鍵詞：傳感器氣體檢測氣體傳感器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
R744（CO2）泄漏監(jiān)測氣體傳感器ARS-744	面議	武漢市	四方光電股份有限公司	2025-05-12	在線詢價
紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝	面議	武漢市	四方光電（武漢）儀器有限公司	2025-05-27	在線詢價
硫酸霧氣體傳感器模組	面議	深圳市	深圳市東日瀛能科技有限公司	2025-03-10	在線詢價
UQ-80系列CH4甲烷變送器氣體傳感器	面議	成都市	道威斯頓（中國）有限公司	2025-03-10	在線詢價
智易時代ZWIN-AQMS08微型空氣站傳感器氣體傳感器	面議	天津市	天津智易時代科技發(fā)展有限公司	2025-03-10	在線詢價
室內(nèi)粉塵變送/控制器,氣體傳感器	￥600	杭州市	浙江力夫傳感技術(shù)有限公司	2025-06-02	在線詢價

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