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  • 小型PVE管式爐系統(tǒng)

OTF-1200X-50S-PE 小型PVE管式爐系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號OTF-1200X-50S-PE
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2023-05-02
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量437
  • 人氣值823
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OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)(PECVD)。該設(shè)備配有等離子射頻電源,開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及一個直聯(lián)式雙旋機械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng),且設(shè)備性價較為理想。
小型PVE管式爐系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點:

射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

整套設(shè)備尺寸小巧;

可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量;

可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應(yīng)力。

加熱爐參數(shù):

溫度:1100℃(《30min);連續(xù)工作溫度:1000℃

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃

輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命。

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

采用TRP-12的雙旋真空泵;

•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達10-2Torr

產(chǎn)品尺寸和重量:

尺寸:1500mm L'600mm W'1200mm H

凈重: 75 kg

 

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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