產品特點：

•一射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

•可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫；

•可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力;

•可通過工藝調節來控制化學計量；

•可沉積各種材料，如SiOx，SiNx，SiOxNy和(a-Si:H)等。

加熱爐參數：

•溫度：1100℃（<30min）：連續工作溫度：1000℃：

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控瀝精度：±1℃；

•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW：

•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命

射頻電源：

真空系統：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統（可選）：

•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產品尺寸和重量：

•尺寸：1500mm L'600mm W^1200mm H

•·凈重：160 kg

•運輸重量：220 kg

質保：

一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件