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公司介紹主營產品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統集成、設備國產化的公司。主要為高校、研究所、中試量產線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內少數幾家專業提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業。公司主要成員為復旦大學、上海微系統所等半導體相關專業博士，擁有一支經驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據用戶的科研方向和量產的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。

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產品簡介在線詢價

Picosun R-200 系列原子層沉積系統是一款多功能的原子層沉積平臺，是用于研發的理想選擇，適用于 IC 器件、MEMS 器件、顯示器、LED、激光器以及透鏡、光學部件、珠寶、硬幣、醫療植入物等 3D 部件的研發。

R-200 Advance 原子層沉積系統產品詳情

● 適用 2 - 8 inch 晶圓，156mm × 156mm 太陽能硅片

● 可適用于多孔，通孔，高深寬比樣品（可達 1 : 2500）

● 工藝溫度：50 - 500℃

● Advance 型號配有等離子處理系統，工藝溫度 450℃（可選配特定chuck盤至 650℃）

● 適用鍍膜種類：Al₂O₃，TiO₂，SiO₂，Ta₂O₅，HfO₂，ZnO，ZrO₂_，AlN，TiN，Pt，Ir 等

● 手動上料，可選配機械臂，搬運機器人或 Cassette-to-Cassette 上料

● 前驅體種類：液體、固體、氣體、臭氧源、等離子體等

關鍵詞：搬運機器人

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