多工位磁控濺射鍍膜機可同時放置多片基片，適應研發線或中試線的小批量生產。矽碁提供的可公轉基片載臺方便客戶靈活調整各基片對應不同靶位。預裝矽碁自主研發的工業級全自動控制系統，設備可按預設工藝流程進行自動生產。工藝重復性優于 ±3%，有效保證生產穩定性。
技術參數：
1 本底真空10-7 Torr；
2 多基片設計，數量、尺寸可定制；
3 基片臺可公轉、自轉并加熱：300℃/500℃/800℃；
4 最多可拓展6支磁控濺射靶槍，6個工位；
5 靶槍濺鍍距離可調，可升級強磁靶；
6 防交叉污染遮板設計；
7 可配備樣品預清洗功能；
8 可配備快速進樣室；
9 可配備自動壓力控制系統；
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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| 浸漬提拉鍍膜機 垂直提拉機 | 面議 | 北京市 | 北京亞歐德鵬科技有限公司 | 2023-09-26 | 在線詢價 |
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| 浸漬提拉鍍膜機/提拉鍍膜機/鍍膜機 | 面議 | 北京市 | 北京亞歐德鵬科技有限公司 | 2016-12-16 | 在線詢價 |
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