關鍵詞:單層膜、多層膜、磁性膜、光學膜、金屬膜、絕緣膜、半導體膜
連續沉積、進口磁控濺射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶
型號:MP 900S 產地:歐洲 應用:單層膜、多層膜、磁性膜
配置多個可更換金屬靶:Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, TaN
襯底雙行星運動,可加載4英寸襯底
LOAD LOCK及主腔體均配備分子泵和干泵
可沉積多層膜,可原位應力檢測
應用于X-射線等領域.
6個高度可調陰極磁控管
3個1.5kW直流靶,3個1kW射頻靶
氬氣、氧氣、氮氣氣路,分別配備MFC
全自動電腦控制,半自動和手動模式可用,支持遠程維護