2460 數字源表®源測量單元（SMU）儀器 概述：

2460 數字源表®源測量單元（SMU）儀器 主要特性：

• 在一個緊湊儀器內集成了分析儀、 曲線追蹤儀和I-V系統等多種能力

• 動態范圍寬，105V, 7A DC/7A 脈沖, 100W（值）

• 5英寸、高分辨率、電容觸摸屏圖 形用戶界面(GUI)

• 基本測量準確度0.012%，6位半 數字分辨率

• 源和阱(4象限)操作

• 4個“Quickset”模式，用于快速設 置和測量

• 背景敏感的幫助功能

• 前面板輸入香蕉插孔；后面板集 體輸入螺絲連接

• 2460 SCPI與TSP®腳本編程模式

• 前面板USB 2.0存儲器I/O端口， 用于傳輸數據、測試腳本或測試 配置

2460 數字源表®源測量單元（SMU）儀器 技術數據：

電壓規格^{1, 2}

電流規格 ^{1, 2, 5}

溫度系數 (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 × 精度指標)/°C

1. 速度 = 1 PLC。

2. 所有規格都在輸出開啟時確保。

3. Accuracies apply to 2- and 4-wire mode when properly zeroed.

4. 6.5-digit 電壓測量 分辨率.

5. 6位半測量分辨率。

6. 使用2460-KIT螺絲端子附件時確保準確度規格。

7. 4線模式。

電阻測量精度(本地或源端測量) ^{1, 2, 3}

溫度系數 (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 ×精度指標)/°C

源電流、測量電阻模式：整體不確定性 = I源準確度 + V測量準確度 (4線遠端測量)

源電壓、測量電阻模式：整體不確定性= V源準確度 + I測量準確度 (4線遠端測量)

1. 速度 = 1 PLC。

2. 所有規格都在輸出開啟時確保。

3. 正確歸零后，準確度適用于2線和4線模式。 10. 6位半測量分辨率。

4. 6位半測量分辨率。

5. 支持源回讀。偏移補償開啟。

6. 僅源電流測量電阻或源電壓測量電阻。

其他特性

輸出功率 — 100W, 4象限源或阱操作。

源限幅： — V_源：±7.35V (≤7A量程), ±10.5V (≤5A量程), ±21V (≤4A量程), ±105V ( ≤1A量程)
I_源：±7.35A (≤7V量程), ±5.25mA (≤10V量程), ±4.2A (≤20V量程), ±1.05mA (≤100V量程)

過量程 — 量程的105%，源和測量

調節 — 電壓：線路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100μV。
電流：線路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100pA。

源限幅 — 電壓源電流限幅：雙極電流限幅設置為單一值。最小值為量程的10%。
電流源：<典型值的0.1% （1mA步長, R負載 = 10kΩ, 20V量程）。

V-限幅 / I-限幅精度 — 增量為設置的0.3%以及基本指標讀數±0.02%。

過沖 — 電壓源：<典型值的0.1% （滿刻度步長, 電阻負載, 20V量程, 10mA I-限 幅）。
電壓源: <0.1% typical (1 mA step, RLoad = 10 kΩ, 20 V 量程).

量程變化過沖 — 量程變化過沖：對100kΩ的*電阻負載過沖, 10Hz～20MHz帶寬，臨近量程：<250mV，典型值。

輸出建立時間 — 輸出建立時間：與最終值相差0.1%所需的時間, 20V量程, 100mA I-限幅：<200μs，典型值。

斜率 — 斜率：1V/μs，100V量程，對20kΩ負載，限幅為100mA (典型值)。0.6V/μs，20V量程，對20kΩ負載， 限幅為100mA (典型值)。

過壓保護 — 過壓保護：用戶可選擇值5% ±0.5V容限。出廠缺省值=無。

電壓源噪聲 — 10Hz–20MHz (RMS)：<4.5mV，針對電阻負載的典型值。

共模電壓 — 250V DC

共模隔離 — >1G Ω, <1000 pF.

噪聲抑制(典型值)：

負載阻抗 — 一般模式：20nF，典型值 。

大電容模式 — 穩定至50μF，典型值。對于≥100μA量程，大電容模式有效。

FORCE和SENSE端之間的電壓降：5V

測量引線電阻 — 1MΩ，針對額定精度。

測量輸入阻抗 — >10 GΩ.

保護偏移電壓 — <300 µV, 典型值

系統測量速度 ¹

頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數/秒) 典型值，腳本(TSP®)可編程

頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數/秒) 典型值，SCPI可編程