轉手二手韓國2050真空鍍膜光學機

韓國2050光學機配置表

機械泵  英國愛德華275

羅茨泵  英國愛德華EH2600

擴散泵  韓國雙800

膜厚儀  美國英福康IC-5

電子槍  日本原裝JEOL雙槍(目前單槍)

離子源  韓國霍爾源

深冷    韓國

本裝置是為減反射光學薄膜的大批量生產而設計制作的光學鍍膜機。
采用了磁流體密封技術的中心旋轉式基板架，保證了薄膜產品的重復性與均勻性

優化的排氣特性和升溫能力使鍍膜時間縮短

可以加裝用于對應高精度AR鍍膜的多層膜用可靠的光控儀 (optional)

產品介紹

韓國2050

· 反應性等離子源鍍膜機

· SDAR 系列

· 器件

· 離子源

· 光學膜厚監控儀

本裝置是為減反射光學薄膜的大批量生產而設計制作的光學鍍膜機。

采用了磁流體密封技術的中心旋轉式基板架，保證了薄膜產品的重復性與均勻性

優化的排氣特性和升溫能力使鍍膜時間縮短

可以加裝用于對應高精度AR鍍膜的多層膜用可靠的光控儀 (optional)

規格

真空室 SUS304,Ф1800mm×2000mm(H)

基板架 4片式工作架（或Ф1200 mm）

基板架轉速 30rpm(可調)

晶振式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發源 電子槍1臺 　

性能

極限真空 7.0 × 10-5 Pa 以下

抽氣速度 10分（大氣壓～3.0×10-3Pa）

基板加熱溫度 350℃

安裝要求

安裝空間 約4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)

電力 3相，200V，50/60Hz，約80KVA

水流量 100升/分以上

壓縮空氣壓力 0.5-0.7MPa

重量 約5000kg

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