產品簡介

善準科技等離子清洗機VP-R手動版，手動控制，13.56MHz物理與化學作用俱佳，適用于PDMS鍵合，石墨烯粉末清洗，硅材料親水性處理和高分子材料處理。

產品特性

1.BetterReliability，Better Operation

內置一路通入氣體，無需再搭配氣體混合儀

簡易、智能化設計，避免誤操作

采用數字顯示壓力，實時觀察腔體壓力變化情況

手動控制，人機界面友好

清洗結束，旋鈕泄壓

泄壓時長和大小可調，可通入氮氣泄壓

清洗功率高、中、低三擋可調

2.補充國內技術空白

柔性電極輸出13.56MHz頻率用于等離子清洗

性能俱佳，在控制自動化，人性化設計方面前列

腔體低溫，運行時腔體溫度小于32°C

13.56MHz物理作用和化學作用俱佳

等離子體從腔體向四周發出，對樣品整個表面處理更*

VP-R手動版與薄膜、玻璃基片和石墨烯等離子處理比對情況

3.質量可靠，細節決定

石英材質腔體，保證腔體更加潔凈，更適合清潔度高材料

國內真空泵，保證腔體真空度穩定，等離子清洗強度更強

306不銹鋼卡扣，比普通鋁制卡扣更耐用，接口氣密性更好

1.5米不銹鋼波紋管，比橡膠更耐用，密封性更好

高硼硅圓形托盤，避免樣品二次污染

4.經典清洗案例分析

石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質和油質增加石墨烯表面親水基團（-OH）提高親水性

金屬工件油污等離子清洗，不損傷樣品，去除表面油污

PDMS等離子清洗，改變表面性質，提高粘接能力

橡膠親水性處理

薄膜等離子處理

技術規格

型號 ：VP-R手動版    

腔體材質：石英玻璃    

腔體容量：2L    

內腔尺寸：Φ100x200Lmm    

射頻功率：160W    

射頻頻率：13.56MHz    

RF放射：無    

頻率偏移量：小于0.2KHz    

等離子體轟擊：從四周向中間    

腔體溫度：滿功率運行30分鐘腔體溫度＜32℃    

清洗時間：手動設置    

功率調節：高、中、低三擋    

顯示屏：無    

操作控制：手動控制    

氣體流量計：無    

提供進氣氣路：一路進氣，進氣量可調    

進氣管：一根    

泄壓：手動開關泄壓，泄壓速度可調    

真空泵極限真空度：5x10﹣2Pa    

抽速：8m3/h    

噪音：≤56dB    

抽真空時間：啟動到發出輝光≤35秒（時間可調）    

真空檢測：無    

冷卻方式：風冷    

腔體門：高強度鋁合金    

真空泵控制：主機與真空泵聯動    

供電電源：AC220V/50Hz    

箱體平衡：減震橡膠腳杯    

外形尺寸(LxWxH)：420x420x320mm    

善準科技等離子清洗機VP-R手動版訂購信息

標準配置 ：主機、真空泵、1.5米波紋管、清洗托盤、電源線、說明書、合格證、保修卡、提供一路進氣管    

選配件：1、微量控氣閥（清洗粉末適用）2、高硼硅圓形托盤  3、安捷倫干式真空泵，防止油氣揮發（高潔凈實驗室適用）