加速度傳感器是最早開發的硅微加速度傳感器（基于MEMS硅微加工技術），壓阻式加速度傳感器的彈性元件一般采用硅梁外加質量塊，質量塊由懸臂梁支撐，并在懸臂梁上制作電阻，連接成測量電橋。在慣性力作用下質量塊上下運動，懸臂梁上電阻的阻值隨應力的作用而發生變化，引起測量電橋輸出電壓變化，以此實現對加速度的測量。

 

    加速度傳感器測量頻率范圍也可從直流信號到具有剛度高，測量頻率范圍到幾十千赫茲的高頻測量。超小型化的設計也是壓阻式傳感器的一個亮點。需要指出的是盡管壓阻敏感芯體的設計和應用具有很大靈活性，但對某個特定設計的壓阻式芯體而言其使用范圍一般要小于壓電型傳感器。

 

    加速度傳感器原理他們有什么特性

 

    1、數加速度傳感器是根據壓電效應的原理來工作的。所謂的壓電效應就是對于不存在對稱中心的異極晶體加在晶體上的外力除了使晶體發生形變以外,還將改變晶體的極化狀態,在晶體內部建立電場,這種由于機械力作用使介質發生極化的現象稱為正壓電效應。

 

    2、一般加速度傳感器就是利用了其內部的由于加速度造成的晶體變形這個特性。由于這個變形會產生電壓,只要計算出產生電壓和所施加的加速度之間的關系,就可以將加速度轉化成電壓輸出。當然,還有很多其它方法來制作加速度傳感器,比如壓阻技術,電容效應,熱氣泡效應,光效應,但是其最基本的原理都是由于加速度產生某個介質產生變形,通過測量其變形量并用相關電路轉化成電壓輸出。