加速度傳感器的結構如圖所示。在兩塊表面鍍銀的壓電晶片（石英晶體或壓電陶瓷）間夾1片金屬薄片，并引出輸出信號的引線。在壓電晶片上放置1塊質量塊，并用硬彈簧對壓電元件施加預壓縮載荷。靜態預載荷的大小應遠大于傳感器在振動、沖擊測試中可能承受的最大動應力。這樣，當傳感器向上運動時，質量塊產生的慣性力使壓電元件上的壓應力增加；反之，當傳感器向下運動時，壓電元件的壓應力減小，從而輸出與加速度成正比例的電信號。

 

    傳感器整個組件裝在一個原基座上，并用金屬殼體加以封罩。為了隔離試件的任何應變傳遞到壓電元件上去，基座尺寸較大。測試時傳感器的基座與測試件剛性連接。當測試件的振動頻率遠低于傳感器的諧振頻率時，傳感器輸出電荷（或電壓）與測試件的加速度成正比，經電荷放大器或電壓放大器即可測出加速度。

 

    應變壓阻式加速度傳感器的敏感芯體為半導體材料制成電阻測量電橋，其結構動態模型仍然是彈簧質量系統。現代微加工制造技術的發展使壓阻形式敏感芯體的設計具有很大的靈活性以適合各種不同的測量要求。在靈敏度和量程方面，從低靈敏度高量程的沖擊測量，到直流高靈敏度的低頻測量都有壓阻形式的加速度傳感器。

 

    同時壓阻式加速度傳感器測量頻率范圍也可從直流信號到具有剛度高，測量頻率范圍到幾十千赫茲的高頻測量。超小型化的設計也是壓阻式傳感器的一個亮點。需要指出的是盡管壓阻敏感芯體的設計和應用具有很大靈活性，但對某個特定設計的壓阻式芯體而言其使用范圍一般要小于壓電型傳感器。

 

    壓阻式加速度傳感器的另一缺點是受溫度的影響較大，實用的傳感器一般都需要進行溫度補償。在價格方面，大批量使用的壓阻式傳感器成本價具有很大的市場競爭力，但對特殊使用的敏感芯體制造成本將遠高于壓電型加速度傳感器。