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產品說明：

（1）放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000 X）；

（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；

（3）5kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；

（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

（5）Tilt（0~90）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）。

產品特性：

（1）臺式掃描電鏡,體型小巧,占用空間小；

（2）強大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡單；

（3）軟件實現檢測圖形實時存儲；

（4）掃描電鏡產品結構設計簡潔,易于維護及保養；

（5）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。

技術參數：

分辨率	15nm (30kV, SE Image)
分辨率	20nm (30kV, BSE Image)
放大倍率	30~60,000 X
加速電壓	5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)
圖像檢測	二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image
	背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image
	* Multi Detector (SE+BSE)
觀察模式	Standard Mode
觀察模式	Charge-up reduction mode
電子槍系統
燈絲類型	預對中鎢燈絲
偏壓系統	自動偏壓方式
電子槍校正	手動方式
透鏡構成
聚光鏡	2段式磁線圈透鏡
物鏡	1段式磁線圈透鏡
探測器類型	SE Detector/ BSE Detector
載物臺系統	自動或者手動
載物臺移動	3軸（X，Y，R）或5軸（X，Y，R，Z，T）
圖像偏移	Image shift X, Y Image Shift (±150μm)
樣品尺寸	高度40mm時直徑70mm
圖像掃描	快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
	低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
	圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)
	圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
	圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)
自動功能	自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節
圖像存儲格式	BMP, JPEG, PNG,TIFF
數據顯示	放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等
真空系統	高真空模式（旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間：3分鐘以內
操控系統	鼠標和鍵盤
操控系統	PC：臺式電腦（Desk Top）
軟件	圖像文件打開，編輯，存儲功能長度，面積，角度等測量功能,設置數初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting(EDS)模式等
體積	設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm 外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm
重量	95kg
設備環境	溫度：15℃~30℃ 濕度：70% or less 電源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz