ICF70XY機械軸真空光學SHINKU機械臂

ICF70XY機械軸真空光學SHINKU機械臂

回轉導入機VBR-70

規格

使用焊接回流10 deg/1刻度

傳遞扭矩2N?m手動

連接法蘭ICF70FH

旋轉棒φ8（SUS304）帶限位器

約820g

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

ICF114XY機械軸XY-114M

規格】

X?Y平行移動±3ｍｍ

最小分辨率0.00004mm/脈沖

安裝法蘭ICF 114

玫瑰內徑60mm40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

也會手工制作

迷你手動機械軸X-34/34

本產品在大氣中進行超高真空移動及測定等實驗

為了正確且再現性好地操作X軸的平行移動而設計，進行精密的制作、組裝，本公司的產品廣泛地被各方面利用。

規格

X方向移動±2.5ｍｍ

安裝法蘭：ICF34FT

焊接回流內徑：φ17ｍｍ

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

也制作馬達驅動。

照片是馬達驅動

帶旋轉導入機的便攜棒WSR-80

其他，根據用途進行設計。

規格

焊接回流：伸縮方式

行程：0～80mm（也有100mm）、360°旋轉

安裝法蘭：ICF70FH

厚連桿：Φ6、前端部會根據用途制作

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

貫通型直線導入機LM-40S-BN(LM-80S-BN)

本產品在以往的直線導入機上附加了各種導入機、魚叉等安裝的法蘭，不僅可以用于超高真空槽的直線移動、定位等單純的直線導入機，還可以進行各種復合操作。

由于安裝法蘭是ICF法蘭，所以可以利用一般的送通，例如，與使用電流導入端子的可動型檢測器、其他的運動導入機組合而安裝了2軸動作型機械手、閥門等的可動型噴嘴、可以考慮斯尼弗等廣泛的應用。

規格

移動距離：0～40mm（LM-40S-BN）、0～80mm（LM-80S-BN）

連接法蘭：ICF70FH

擴展安裝法蘭：ICF34FTBNC付ICF34

定位精度：1rev.2mm1刻度／0.1mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下