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流量量程達1000L/min，壓力達500psi，可跟蹤的NIST

GFM 系列氣體質量流量計結合一個直線管狀傳感器和一個限制流體分子的控制器來提供高精度和重復性。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實際流量將以工程單位顯示在3位數字，90°旋轉的液晶顯示屏上。本系列可以與GFT系列流量累計器一起以用于需要測定流量累計的場合。GFM系列產品包括一份NIST跟蹤記錄證書。

規格

介質：與接液部件兼容的清潔氣體

接液材質： GFM-1XXX: 陽極氧化鋁, 銅, 316不銹鋼和Viton® O型密封圈;

GFM-2XXX: 316不銹鋼和Viton® O型密封圈

精度：滿量程時±1.5%包括線性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)

重復性：滿量程的±0.5%

反應時間：實際流量的±2%以內是2秒

輸出：線性0-5VDC和4-20mA

微粒尺寸： 5微米

工作溫度： 32-122°F (0-50°C)

電源： ±12VDC

過程連接：流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸；500L/m是1/2英寸；1000L/m是3/4英寸

壓力范圍： 500psig(34.5bar)

泄漏率：氦氣的1 x 10^-7 sccs

顯示器： 90°可傾斜，3-1/2數字

認證： CE

型號

流量范圍	流量計
流量范圍	鋁	不銹鋼
0-10 SCCM	GFM-1101	GFM-2101
0-20 SCCM	GFM-1102	GFM-2102
0-50 SCCM	GFM-1103	GFM-2103
0-100 SCCM	GFM-1104	GFM-2104
0-200 SCCM	GFM-1105	GFM-2105
0-500 SCCM	GFM-1106	GFM-2106
0-1 L/min	GFM-1107	GFM-2107
0-2 L/min	GFM-1108	GFM-2108
0-5 L/min	GFM-1109	GFM-2109
0-15 L/min	GFM-1111	GFM-2111
0-30 L/min	GFM-1131	GFM-2131
0-50 L/min	GFM-1133	GFM-2133
0-100 L/min	GFM-1142	GFM-2142
0-200 L/min	GFM-1143	GFM-2143
0-500 L/min	GFM-1144	GFM-2144
0-1000 L/min	GFM-1145	GFM-2145