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湘潭華豐儀器制造有限公司
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氣相沉積設備

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品       牌

廠商性質生產商

所  在  地湘潭市

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更新時間:2016-08-18 17:24:50瀏覽次數:556次

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氣相沉積設備主要由反應室、供氣系統和加熱系統組成。反應室是CVD中zui基本的部分,常采用石英管制成,其壁可分為熱態和冷態。

一、氣相沉積設備一般是通過一定的氣體與之發生氣—固或氣—液反應,形成適當的氣態組分,將產生的氣態組分輸送入反應室,在這些反應物載入沉積區之前,一般不希望它們之間相互反應,因此,在低溫下會相互反應的物質在進入沉積區之前應隔開。

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