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Talysurf CCI 9150 超精密三維表面輪廓光學系列測量儀
超精密三維表面輪廓光學系列測量儀采用相干相關技術進行非接觸式表面測量。此類儀器能在僅10秒內完成測量數據點超過百萬的表面測量,分辨率高達0.01 nm (0.1 ?)。 *的計量工具Talysurf CCI9150測量系統配有超低噪音而且像素達100萬的標準傳感器。因它大大提高了信噪比,所以該系統能提供*測量重復性和的表面形貌的細節。 該系統專為滿足zui苛刻的自動化生產的要求而設計。它非常適合應用在數據存儲業,半導體制造業與MEMS等行業。 | ![]() |
? 垂直分辨率高達0.1 ? (0.01 nm)
? 測量噪音(實際測量數據)低至0.2 ? (0.02 nm)
? 標準數據測量點為百萬
? AlTiC 與DLC 材料補償
? 重復性RMS 好到0.03 ? (0.003 nm)0.03 ? (0.003 nm) RMS repeatability
亞埃尺度分辨率
Talysurf CCI 9150 對于三維表面輪廓分析來說是無價的。該非接觸式三維表面測量系統在垂直方向全程內具備0.1 ?的Z軸分辨率以及低于0.2 ?的測量噪音等的性能。
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